EUV，即 ASML 最先进的机器所使用的光波波长，指的是电磁波谱中波长从 121 纳米到 10 纳米的电磁辐射所在的频段。ASML CEO 彼得・温宁克（PETER WENNINK）告诉媒体，过往 10 年间该公司已出售大约 140 台 EUV 光刻机，单价约 2 亿美元一台。
据报道，ASML 正制造新款极紫外光线（EUV，EXTREME ULTRAVIOLET）光刻机，预计每台售价约 4 亿美元，或将在 2023 年上半年完成制造，并有望在 2025 年用于芯片供应商。
为了实现在2NM世代制造更精细的半导体，我们需要具有高产能和高数值孔径 (HIGH-NA) 的下一代 EUV 曝光系统。
据悉，该光刻机重达 200 多吨，有“双层巴士”那么大。据报道，ASML正制造新款极紫外光线（EUV）光刻机，预计每台售价约4亿美元，或将在2023年上半年完成制造，并有望在2025年用于芯片供应商。
ASML希望从2024年起在客户工厂安装该机器。ASML宣布，即将推出的EUV已经有五家以上的客户订购。该机器有望使芯片电路减少66%。
ASML与IMEC正在讨论更深度的合作，未来推出1NM以内的光刻机。且2036年可制作0.2NM芯片。
接着看路线图，IMEC预计在2028年实现A10工艺，也就是1NM节点了，2030年是A7工艺，之后分别是A5、A3、A2工艺，2036年的A2大概相当于0.2NM节点了。
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